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等离子清洗设备基础知识的科普(原理、结构)
  • 发布日期:2018-06-12      浏览次数:98
    •    等离子清洗设备也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁等目的。
        等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。【等离子表面清洗】
        等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
        等离子清洗设备原理:
        等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。
        等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
        在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等体子体轰被清洗产品面.以达到清洗目的。
        等离子清洗设备结构
        等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述:
        1、控制单元:
        目前国内使用的等离子清洗机,包括国外进口的,控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
        而控制单元又分为两个大的部分:1)电源部分:主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子,主要的功能作用,前面已经提到了,这里就不一一介绍了。2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。
        2、真空腔体:
        真空腔体主要是分为两种材质的:1)不锈钢真空腔体,2)石英腔体。
        3、真空泵:
        真空泵分为两种:1)干泵 、2)油泵
        我们在长期从事等离子体应用技术研究和设备研制的基础上,充分借鉴欧美的先进技术,并通过与国内外着名研究机构的技术合作,开发出具有自主知识产权的电容耦合放电、电感耦合放电和远区等离子放电等多种放电类型的产品。特色鲜明的处理腔体形状和电极结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求,包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。
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