等离子清洗机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
压缩气体是等离子清洗机部分器件的动力源,同时也是工艺气体来源。在使用中压缩气体都是有低气体压力要求的,气体压力的稳定和大小可以通过调压阀等器件实现,那么等离子清洗机通常是如何实现气体压力可视化及低压报警的呢,今天我们就分享一下相关知识,供大家参考。
1 气体压力可视化
气体压力可视化的方式比较多,常见的就是在气路或气路的元器件上加装减压表,清洗机的气路压力显示就是用这种方式实现。通常压力表是安装在调压阀的预留孔上,其优点是在调节气压时可直接观察到实时压力。
除加装压力表外,还可以通过加装压力传感器来实现气压可视化,但压力传感器通常还需配备显示模块或控制模块。其优点是可直接实现在操作界面上实时显示气体压力,但会增加编程的复杂性,同时成本相对较高,所以除有特殊要求外,很少被应用在等离子清洗中。
2 气体的低压报警
对于清洗机而言,只实现气体压力的可视化是*不够的,为了保证设备的正常运行及工艺参数的稳定,气体压力必须控制在设计范围内。因在气路中都会安装调压阀、节流阀等,输入到后段的气体z高气压已经被限制,所以通常可以忽略高压监控报警,只进行低压报警保护。
其低压报警通常由两种方式实现,分别为使用带信号输出的压力表及膜片式压力开关。它所使用的带信号输出的压力表分为指针式和数显式两种,这两种在实际使用中都有被应用。
带信号输出的指针式压力表是机械结构,不易受高频干扰,被广泛应用。当实时气压高于报警指示时,指示灯不亮且无报警信号输出;当实时气压低于报警指示时,指示灯点亮,同时内部线路切换实现报警信号输出。
它所用的数显压力表是电子式数显压力开关,可实现气压的实时数字显示及低压报警输出。实时压力及设定的低气压均是以数字的形式显示,可视化效果更强,可有效避免误读。
数显压力表还可以通过安装支架,更加方便地安装在设备的机柜上,相对于指针式压力表,使用的灵活性更高。这种压力表的缺点是其利用传感器及模拟电路实现压力显示,在等离子清洗中如使用不当可能存在高频信号干扰的问题。