等离子清洗机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

与湿法清洗相比,等离子清洗的优势表面在以下几个方面:
(1 )在经过等离子清洗之后,被清洗物体已经很干燥,不必再经干燥处理即可送往下道工序。
(2 )不使用三氯乙甲 ODS 有害溶剂,清洗后也不会产生有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方法。
(3)它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务,所不多考虑被清洗物体形状的影响。
(4 )整个清洗工艺流程在几分钟即可完成,因此具有效率高的特点。
(5 )等离子清洗的大技术特点是,它不分处理对象,可处理不同的基材。无论是金属、半 导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚脂、环氧树 脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理。因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。
(6 )在完成清洗去污的同时,还能改变材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能,改善膜的附着力等。
(7)自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。