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等离子清洗机中的等离子体具有哪些特性?

更新时间:2020-09-24      点击次数:854
   等离子清洗机中产生的等离子体有着*的物理和化学特性,可以用于等离子清洗、等离子活化、等离子刻蚀和等离子沉积等工艺。具体有哪些特性呢?

  1、电子温度高,粒子动能大。

  2、作为带电粒子的聚集态,具有类似于金属的导电性能。

  3、化学性质活泼,比较容易发生化学反应,例如等离子体去除有机物。

  4、发光特性,可以做各种光源。例如霓虹灯、水银日光灯都是等离子体发光的现象。
 

等离子清洗机

  等离子清洗机中产生的等离子体之所具有以上特性,是因为等离子体内部电子和气体分子间的碰撞。若碰撞能量小,则会发生弹性碰撞,电子的动能几乎不会改变。如果碰撞能量很高,分子中绕核运动的低能电子,就会在碰撞中获得足够高的能量,被激发至离核较远的高能级轨道上运动。

  我们把等离子清洗机中这种处于高能级状态的分子称为激发态分子,用XY*表示。激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级时,便以发光的形式来释放多余的能量,由于光的频率不同就会让人看到不同的颜色!

  若碰撞电子的能量足够高,电子吸收的能量就可以使其脱离核的束缚而成为自由电子,也就是分子发生了电离。电子对分子 XY 的碰撞也可以使之分解成X原子和Y原子(离解)。若用“:”表示分子中的成键电子对,则离解过程可以表示为X:Y→X.+.Y; 这就让带有未成对电子(用X和Y旁边的符号·表示)的X,Y就容易发生化学反应,故被称为化学活性种或者基团(radical)。

  在等离子清洗机中H,O,CI等游离态的原子和CH3,CF2,SiH3等分子都是基团。为了明确它们不带电荷的性质,我们称之为中性基团,以与电离产生的离子性基团相区别开来。

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