等离子清洗机的这3种清洗方式你了解吗?

　　今天我给大家经济等离子清洗机的清洗方式：
 

　　等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。针对不同的清洗对象可挑选O2、H2和Ar等艺气体进行短时间的表面处理。

 

　　1.化学反应为主的清洗
 

　　运用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等做化学反应，又称PE。选用氧气进行清洗，使非挥发性的有机物变成易挥发的形状，产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的利益是清洁速度高、挑选性好和对清洗有机污染物比较有用， 首要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引线键合工艺中，氧化物是不希望有的， 这些缺点能够通过恰当挑选工艺参数进行防止。
 

　　2.物理反应为主的清洗
 

　　运用等离子体里的离子做纯物理的碰击，把材 料表面附着的原子打掉，也称为溅射腐蚀(SPE)。 选用氩气进行清洗，氩离子以足够的能量轰击器 件表面，碰击力足以去除任何尘垢。聚合物中的 大分子化学键别离成小分子而汽化，通过真空泵排 出。一同通过氩等离子清洗后，能够改动材料表面 的微观形状，使材料在分子级范围内变得更加“粗 糙”， 可大幅改进表面活性，前进表面的粘结性 能。氩等离子的利益是收拾材料表面不会留下任何 氧化物。缺点是可能产生过量腐蚀或污染物颗粒重 新积累在其他不希望的区域，但是这些缺点可通过 细调工艺参数得到操控。
 

　　3. 物理化学反应一同存在的清洗
 

　　反应中物理反应与化学反应均起重要作用的 清洗。 如选用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清洗过程时，反应速率比单独运用Ar或O2都要快。氩离子被加快后，产生的动能又能前进氧离子的反应才干，因而用物理化学办法可*污染较为严峻的材料表面。