等离子清洗机中气体在清洗中的作用及气体选配

　　等离子清洗机在清洗物体前首先要对清洗的物体和污物进行分析，然后进行气体的选配。依据等离子的作用原理可将选配气体分为两类，一类是氢气和氧气等反应性气体，其中氢气主要应用于清洗金属表面的氧化物，发生还原反应。清洗机通氧气主要应用于清洗物体表面的有机物，发生氧化反应。
 

　　另一类是等离子清洗机通氩气、氦气和氮气等非反应性气体，氮等离子处理能提高材料的硬度和耐磨性。氩气和氦气性质稳定，并且放电电压低(氩原子的电离能E为15.57 eV)易形成亚稳态的原子。

 

　　一方面等离子清洗机利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件, Ar+轰击污物形成挥发性污物被真空泵抽走，避免了表面材料发生反应;另一方面利用氩气易形成亚稳态的原子，再与氧气氢气分子碰撞时发生电荷的转换和再结合，形成氧氢活性原子作用于物体表面。
 

　　等离子清洗机在清洗表面氧化物时用纯氢虽然效率高，但这里主要考虑放电的稳定性和安全，在清洗机应用时选用氩氢混合较为合适，另外对于材料易氧化或易还原的材料清洗机也可以采用颠倒氧气和氩氢气体的清洗顺序来达到清洗*的目的。
 

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