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浅析等离子清洗机匹配器的问题

更新时间:2021-01-26      点击次数:996
  今天给大家讲一讲等离子清洗机的匹配器的问题。
 
  其实对于很多客户而言,并不关心这个,客户只是关心处理的效果,对于等离子电源的匹配器了解甚少,不过写一篇,如果哪天你公司的等离子出现下面的这些问题,你就知道是机器匹配器坏了。
 
  国内等离子电源主要的分两种,13.56khz的射频电源和40khz的中频电源,其它的电源都用的很少。射频电源等离子柔和细密,温度也低,功率大做到2KW,用来处理一些娇嫩的材料很是适合。中频等离子刚好相反,等离子没有那么密,但是力道猛,温度高,功率能做很大,通常用来做刻蚀、除胶渣。
 
  等离子清洗机反应腔体、电极与等离子发生器之间的桥梁——阻抗匹配器
 
  在高频放电回路中,为了保证用于放电区的功率消耗保护振荡器,常规的做法就是在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络,以便按不同放电条件进行调节,使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗能够匹配,让清洗机放电稳定,工作效率高。

等离子清洗机


 
  射频清洗机会用到匹配器。
 
  匹配器出了问题z为直接影响就是清洗机放电不稳定,甚至不放电。那么就会直接影响到机器清洗的效果
 
  匹配器出了毛病其主要原因有下面这几个:
 
  空气电容损坏毛病原因:空气电容在运转过程中冲突发生导电杂质,造成部分短路;冲突导致动片轴损坏,无法正常调理。
 
  进口晶体管毛病 毛病原因:与空气电容动片轴损坏有关,空气电容无法正常作业,射频输出阻抗无法调理,导致晶体管击穿;在运用过程中,匹配器初始值调理不妥,匹配时刻过长或真空腔体内辉光放电不稳定也会 造成晶体管损坏。
 
  电源匹配器平时做维护
 
  等离子清洗机日常维护的时候,需要检查电极板,每天下班了清洗机用完,对电极板有污染的地方,用酒精擦一擦。电极板的数量、间距,不懂就不要去乱调整。 定时确认匹配器的初始值,长时刻运用可能会呈现初始值偏移的状况,需求定时承认并依据实际状况调整。
 
  如果初始值偏移太多,就请查看一下匹配器内部和空气电容片是否有错位或者打火现象。空气电容的固定叶片及动片在调到大时是基本重合的;如呈现打火现象, 承认叶片有无烧坏,如烧坏可将烧坏位置打磨后再运用,叶片之间的间隔太近也会呈现打火现象。
 
  如果匹配器内有烧焦的味道和以上问题无法处理,请及时与专业人员联系。 匹配器内部配件的运用周期是无法具体承认的,这与运用环境、处理产品、运用是否妥当等均有联系,主要原因可能是匹配器内杂质造成了短路或打火。
 
  匹配器是用来匹配电源和真空腔的,需要电源的功率和真空腔保持一致性。解释起来就点像电脑上面的电源适配器的意思。
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