浅析等离子清洗机选用反应性气体的作用机理

　　选用反应性气体(常见的反应性气体是O2、N2)时，高分子材料在反应性气体的等离子体作用下，材料表面微观结构发生变化;而且由于O2，N2的化学活性，可直接结合到大分子链上，从而改变了高分子材料表面的化学组分，如高分子材料在含氧等离子体基团作用下发生氧化反应。

　　发生的表面氧化反应与通常的热氧化反应不同，它在反应过程中生成大量的自由基，并借助于自由基进行连锁反应。不仅引入了大量的含氧基团，如羧基(COOH),羰基(C=O),羟基(OH)等;而且由于氧对材料表面的氧化分解，还产生刻蚀作用，亲水性明显增强。对于不同的材料所引入的基团的数目和形式也不同。
 

　　此外 CO2，CO，H2O及空气中一些含氧的气体在等离子体状态下也可分解为原子氧，同样具有氧等离子体的作用。N等离子体中有N，N+，N-，NM(亚稳态)，N*，N等活性粒于参与反应，一部分活性N使大分子解体形成HCN，NH3以及其他低分子物质，另一部分则与材料表面形成自由基或不饱和基反应，并结合到大分子链上;同样NO，NO2和N有类似作用。除O2，N2外，F等离子体也具有较高的反应性,可以迅速地使聚烯烃表面氟化，降低表面自由能。

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