真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分组成,广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序,因此又应用于汽车电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。
气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质,真空离子清洗 等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光,等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,达到去除表面油污以及表面氧化物,灰化表面有机物,以及其它化学物质,从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果,经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。
真空等离子清洗机特点:
1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;
3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;
5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。
6.全过程可控工艺:所有参数可由PLC设置和数据记录,进行质量控制。
7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。