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浅析等离子清洗机在使用中四大影响要素

更新时间:2021-07-08      点击次数:715
  随着我国科技的进步,等离子清洗机在现代工业上高速发展,原因也很简单,选择等离子清洗机是因为它操作简单、工作效率高、低成本、环保且去胶后表面光洁。下面小编为大家介绍等离子清洗机在使用中四大影响要素,希望对大家有所帮助。
 
  一、 调整合适的频率:频率越高,氧越易电离构成等离子体。频率太高,以致电子振幅比其平均自由程还短,则电子与气体分子磕碰概率反而减少,使电离率降低。通常常用频率为 13.56MHz及2.45GHZ 。
 
  二、 调整合适功率:关于必定量的气体,功率大,等离子体中的的活性粒子密度也大,去胶速度也快;但当功率增大到必定值,反响所能耗费的活性离子到达饱满,功率再大,去胶速度则无显着添加。由于功率大,基片温度高,所以应根据技术需求调理功率。
 

等离子清洗机

 

  三、 调整适合的真空度:恰当的真空度,可使电子运动的平均自由程变大,因而从电场取得的能量就大,有利电离。别的当氧气流量必守时,真空度越高,则氧的相对份额就大,发生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高,活性粒子浓度反而会减小。
 
  四、 氧气流量的调整:氧气流量大,活性粒子密度大,去胶速率加速;但流量太大,则离子的复合概率增大,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而降低。若反响室压力不变,流量增大,则被抽出的气体量也添加,其间尚没参与反响的活性粒子抽出量也随之添加, 因而流量添加对去胶速率的影响也就不甚显着。
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